نقاوة عالية 99.5٪ تيتان هدف الاخرق لنظام طلاء بي في دي

هدف الاخرق التيتانيوم 99.5٪ ، 99.95٪ D100x40mm ، D65x6.35mm

النقاء هو مؤشر الأداء الرئيسي للمادة المستهدفة ، لأن نقاء المادة المستهدفة له تأثير كبير على أداء الفيلم.

متطلبات الأداء الرئيسية للمواد المستهدفة:

النقاء هو مؤشر الأداء الرئيسي للمادة المستهدفة ، لأن نقاء المادة المستهدفة له تأثير كبير على أداء الفيلم. ومع ذلك ، في التطبيق العملي ، فإن متطلبات النقاء للهدف ليست هي نفسها. على سبيل المثال ، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة ، تم تطوير حجم رقاقة السيليكون من 6 "، 8" إلى 12 "، في حين تم تخفيض عرض الأسلاك من 0.5um إلى 0.25um ، 0.18um أو حتى 0.13um. في السابق ، كان 99.995٪ من النقاوة المستهدفة يمكن أن تلبي متطلبات العملية لـ 0.35um IC ، بينما يتطلب إعداد خط 0.18um 99.999٪ أو حتى 99.9999٪ من النقاء المستهدف.

الشوائب في الهدف الصلب والأكسجين وبخار الماء في المسام هي مصادر التلوث الرئيسية. المواد المستهدفة المختلفة لها متطلبات مختلفة لمحتوى الشوائب المختلفة. على سبيل المثال ، أهداف الألمنيوم النقي وسبائك الألومنيوم لصناعة أشباه الموصلات لها متطلبات مختلفة لمحتوى المعدن القلوي ومحتوى العناصر المشعة.

من أجل تقليل المسامية في المادة الصلبة المستهدفة وتحسين خصائص الأغشية المفلطحة ، عادة ما يكون الهدف مطلوبًا للحصول على كثافة عالية. لا تؤثر كثافة الهدف على معدل الاخرق فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم. كلما زادت كثافة الهدف ، كان أداء الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك ، فإن زيادة كثافة وقوة الهدف يمكن أن تجعل الهدف يتحمل بشكل أفضل الضغط الحراري في عملية الاخرق. الكثافة هي أيضًا مؤشر الأداء الرئيسي للهدف.

بشكل عام ، تكون المادة المستهدفة هي بنية متعددة البلورات ، ويمكن أن يكون حجم الحبوب من ميكرومتر إلى مليمتر. بالنسبة إلى نفس النوع من الهدف ، فإن معدل التبخر للهدف ذي الحبيبات الصغيرة أسرع من الهدف مع الحبيبات الكبيرة ، في حين أن توزيع سماكة الفيلم الذي يودعه الهدف بفارق حجم الحبيبات الصغيرة (توزيع موحد) هو أكثر اتساقا.